A User's Guide to Ellipsometry (Paperback)

Sprache: Englisch

Verlag: Dover Publications Inc., New York, 2006

0486450287 / 9780486450285

Serie: Buch 37 von 53 - Dover Civil and Mechanical Engineering

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Paperback. This text on optics for graduate students explains how to determine material properties and parameters for inaccessible substrates and unknown films as well as how to measure extremely thin films. Its 14 case studies illustrate concepts and reinforce applications of ellipsometry - particularly in relation to the semiconductor industry and to studies involving corrosion and oxide growth.A User's Guide to Ellipsometry will enable readers to move beyond limited turn-key applications of ellipsometers. In addition to its comprehensive discussions of the measurement of film thickness and optical constants in film, it also considers the trajectories of the ellipsometric parameters Del and Psi and how changes in materials affect parameters. This volume also addresses the use of polysilicon, a material commonly employed in the microelectronics industry, and the effects of substrate roughness. Three appendices provide helpful references. Text for graduate students explains how to determine material properties and parameters for inaccessible substrates and unknown films as well as how to measure extremely thin films. 1993 edition. This item is printed on demand. Shipping may be from our UK warehouse or from our Australian or US warehouses, depending on stock availability.…

Bestandsnummer des Verkäufers 9780486450285

Titel
A User's Guide to Ellipsometry (Paperback)
Autor
Harland G. Tompkins
Verlag
Dover Publications Inc., New York
Veröffentlichungsjahr
2006
Zustand
new
Einband
Paperback
Sprache
Englisch
ISBN-10
0486450287
ISBN-13
9780486450285
Serie
Buch 37 von 53: Dover Civil and Mechanical Engineering

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