Peter seegebrecht (10 Ergebnisse)
Verlag: Aachen, 1981
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Prozeßtechnologie : Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-schaltungen -Language: german
Schumicki, Günter; Bündgens, N. (CON); Seegebrecht, Peter; Evelbauer, T. (CON); Fehling, H. (CON)
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Taschenbuch. Zustand: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.…
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Prozeßtechnologie : Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-schaltungen -Language: german
Schumicki, Günter; Bündgens, N. (CON); Seegebrecht, Peter; Evelbauer, T. (CON); Fehling, H. (CON)
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Taschenbuch. Zustand: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen. 520 pp. Deutsch. …
Verlag: Springer Berlin Heidelberg, 1991
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Zustand: New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. 1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturuebertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozessint.…
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