Tilli markku edt (4 Ergebnisse)
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
Tilli, Markku (EDT); Paulasto-krockel, Mervi (EDT); Petzold, Matthias (EDT); Theuss, Horst (EDT); Motooka, Teruaki (EDT)
Sprache: Englisch
Verlag: Elsevier, 2020
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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
Tilli, Markku (EDT); Paulasto-krockel, Mervi (EDT); Petzold, Matthias (EDT); Theuss, Horst (EDT); Motooka, Teruaki (EDT)
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