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Buchbeschreibung Soft Cover. Zustand: new. This item is printed on demand. Bestandsnummer des Verkäufers 9784431547945
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Buchbeschreibung Paperback. Zustand: Brand New. 2014 edition. 40 pages. 8.75x6.00x0.25 inches. In Stock. Bestandsnummer des Verkäufers x-4431547940
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Buchbeschreibung Taschenbuch. Zustand: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This book provides for the first time a good understanding of the etching profile technologies that do not disturb the plasma. Three types of sensors are introduced: on-wafer UV sensors, on-wafer charge-up sensors and on-wafer sheath-shape sensors in the plasma processing and prediction system of real etching profiles based on monitoring data. Readers are made familiar with these sensors, which can measure real plasma process surface conditions such as defect generations due to UV-irradiation, ion flight direction due to charge-up voltage in high-aspect ratio structures and ion sheath conditions at the plasma/surface interface. The plasma etching profile realistically predicted by a computer simulation based on output data from these sensors is described. 52 pp. Englisch. Bestandsnummer des Verkäufers 9784431547945
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Buchbeschreibung Zustand: New. 2014. Paperback. . . . . . Bestandsnummer des Verkäufers V9784431547945
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Buchbeschreibung Taschenbuch. Zustand: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - This book provides for the first time a good understanding of the etching profile technologies that do not disturb the plasma. Three types of sensors are introduced: on-wafer UV sensors, on-wafer charge-up sensors and on-wafer sheath-shape sensors in the plasma processing and prediction system of real etching profiles based on monitoring data. Readers are made familiar with these sensors, which can measure real plasma process surface conditions such as defect generations due to UV-irradiation, ion flight direction due to charge-up voltage in high-aspect ratio structures and ion sheath conditions at the plasma/surface interface. The plasma etching profile realistically predicted by a computer simulation based on output data from these sensors is described. Bestandsnummer des Verkäufers 9784431547945
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Buchbeschreibung Kartoniert / Broschiert. Zustand: New. Bestandsnummer des Verkäufers 5753145
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Buchbeschreibung Zustand: New. 2014. Paperback. . . . . . Books ship from the US and Ireland. Bestandsnummer des Verkäufers V9784431547945
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