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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy (Paperback or Softback)
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Christopher Street: #225, May, 1995: Spring Fiction Issue
Verlag: That New Magazine, New York, 1995
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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
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Visual and Optical Testing (Nondestructive Testing Handbook)
Sprache: Englisch
Verlag: Amer Society for Nondestructive, 1993
ISBN 10: 0931403057 ISBN 13: 9780931403057
hardcover. Zustand: Very Good. Connecting readers with great books since 1972! Used books may not include companion materials, and may have some shelf wear or limited writing. We ship orders daily and Customer Service is our top priority!
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In den WarenkorbZustand: New. KlappentextrnrnDuring the fabrication of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS), residual stress is often induced in the thin films that are deposited to create these systems. These stresses can cause the device to fail due to buckling, curling.
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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
Sprache: Englisch
Verlag: Creative Media Partners, LLC Okt 2012, 2012
ISBN 10: 128686237X ISBN 13: 9781286862377
Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Deutschland
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Taschenbuch. Zustand: Neu. Neuware - During the fabrication of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS), residual stress is often induced in the thin films that are deposited to create these systems. These stresses can cause the device to fail due to buckling, curling, or fracture. Government and industry are looking for ways to characterize the stress during the deposition of thin films in order to reduce or eliminate device failure. Micro-Raman spectroscopy has been successfully used to analyze poly-silicon MEMS devices made with the Multi-User MEMS Process (MUMPS). Micro-Raman spectroscopy was selected because it is nondestructive, fast and has the potential for in situ stress monitoring. This research attempts to validate the use of Raman spectroscopy to analyze the stress in MEMS made of silicon carbide (SiC) using the Multi-User Silicon Carbide surface micromachining (MUSiC) process. Surface interferometry of fixed-fixed beam arrays and comb drive resonance test are employed to determine stress and compare it to the Raman values. Research also includes baseline spectra of 6H, 4H, and 15R poly-types of bulk SiC. Raman spectra of 1- to 2-µm thick 3C-SiC thin films deposited on silicon, silicon nitride, and silicon oxide substrates are presented as an attempt to establish a baseline spectra for 3C-SiC, the poly-type of SiC found in MEMS made with the MUSiC process.
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Visual and Optical Testing (Nondestructive Testing Handbook)
Sprache: Englisch
Verlag: Amer Society for Nondestructive, 1993
ISBN 10: 0931403057 ISBN 13: 9780931403057
Anbieter: Gardner's Used Books, Inc., Tulsa, OK, USA
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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
Sprache: Englisch
Verlag: Creative Media Partners, LLC, 2012
ISBN 10: 128686237X ISBN 13: 9781286862377
Anbieter: PBShop.store US, Wood Dale, IL, USA
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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
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Visual and Optical Testing (Nondestructive Testing Handbook)
Sprache: Englisch
Verlag: Amer Society for Nondestructive, 1993
ISBN 10: 0931403057 ISBN 13: 9780931403057
Anbieter: Mispah books, Redhill, SURRE, Vereinigtes Königreich
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Nondestructive Testing Overview (Nondestructive Testing Handbook (2nd Ed.), V. 10.)
Sprache: Englisch
Verlag: Amer Society for Nondestructive, 1996
ISBN 10: 1571170189 ISBN 13: 9781571170187
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Nondestructive Testing Overview (Nondestructive Testing Handbook (2nd Ed.), V. 10.)
Sprache: Englisch
Verlag: Amer Society for Nondestructive, 1996
ISBN 10: 1571170189 ISBN 13: 9781571170187
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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
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Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
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